在真空技術(shù)中，“烘烤”術(shù)語是指真空系統(tǒng)運轉(zhuǎn)過程中，將真空系統(tǒng)或系統(tǒng)中某一部件加熱升溫烘烤一段時間，烘烤階段中系統(tǒng)內(nèi)材料解析的氣體用真空泵抽除，結(jié)束烘烤后再降到室溫，從而縮短抽氣時間，加快到達(dá)規(guī)定的真空度。此外，高溫烘烤還可以去除部件表面油脂等的污染物。

無論是金屬還是玻璃系統(tǒng)，不對系統(tǒng)內(nèi)材料進(jìn)行除氣，室溫下要獲得10-6Pa以上的超高真空，需要幾天甚至數(shù)周連續(xù)不斷地抽氣才能到達(dá)。為縮短獲得超高真空的運轉(zhuǎn)時間，簡單有效的方法就是對容器進(jìn)行“烘烤”除氣，此外還可以采用離子轟擊除氣、光除氣和輻射除氣等手段，降低材料的出氣速率。

離子轟擊除氣多用于真空規(guī)管、小型真空容器或工件的除氣，系統(tǒng)中的測量規(guī)管在測量前也應(yīng)進(jìn)行離子轟擊除氣，用以減少規(guī)管出氣引起的測量誤差。而光除氣、輻射除氣不僅效果差，還受到各種條件的限制，除一些特殊裝置外，很少應(yīng)用。

除了真空室需要高溫烘烤外，常用的超高真空泵，例如渦輪分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、低溫泵等在允許的溫度下也應(yīng)對泵本身進(jìn)行烘烤。超高真空計烘烤后可使測量更精確，否則規(guī)管內(nèi)材料的出氣會對測量產(chǎn)生大的誤差。在表面研究及某些生產(chǎn)工藝中，要求對試件(工件)及支架進(jìn)行徹底烘烤用以獲得“清潔新鮮”基體表面。

烘烤溫度通常根據(jù)被烘烤材料所允許的**溫度、系統(tǒng)的極限壓力等因素確定。電子管、燈泡及各類靜態(tài)系統(tǒng)在封離之前，必須進(jìn)行徹底烘烤，烘烤溫度一般不低于管子正常工作時的**溫度。

動態(tài)金屬超高系統(tǒng)烘烤溫度范圍為150~450℃(**烘烤溫度約800℃)，可根據(jù)系統(tǒng)用材允許的**烘烤溫度選用。采用150℃較低的烘烤溫度時，需要適當(dāng)延長烘烤時間來彌補烘烤溫度的不足。烘烤應(yīng)當(dāng)在10-3~10-4Pa壓力下進(jìn)行，烘烤開始出氣的主要成分是水，**的氣體成分是氫，實際情況可能要復(fù)雜得多。

除材料的出氣外，大氣的滲漏是不可忽略的重要因素。反復(fù)烘烤后金屬密封墊圈表面的污染物以及溫度交變可能會加重金屬密封的凸凹不平面，會出現(xiàn)許多細(xì)小的泄漏點。如果容器連接有薄壁波紋管，在高溫烘烤期間氮氣的滲漏，也會影響超高真空系統(tǒng)的殘氣成分。

位于泵進(jìn)氣口處未能烘烤的部位是影響獲得超高真空的重要因素，系統(tǒng)不能烘烤的部位面積與采用的真空泵類型有關(guān)，離子泵(卸掉磁鐵)和分子篩泵可以整體烘烤，渦輪分子泵和制冷機(jī)低溫泵能夠局部烘烤100℃，擴(kuò)散泵則完全不能烘烤。

  烘烤曲線表明開始加熱后系統(tǒng)壓力隨加熱溫度上升急劇增加，到達(dá)**烘烤溫度時壓力也升到*大值，在隨后維持烘烤溫度不變的期間，壓力隨抽氣時間緩慢下降，停止加熱后壓力則迅速下降，其拐點處出現(xiàn)在室溫下，此后是常溫下系統(tǒng)壓力隨抽氣時間下降的曲線。

超高真空系統(tǒng)進(jìn)行烘烤除氣時，烘烤溫度的均勻性比烘烤溫度高低更為重要，復(fù)雜的金屬系統(tǒng)要做到各部分的烘烤溫度均勻并不是一件很容易的事。各部分材質(zhì)的質(zhì)量大小不同，各種材料的熱容、熱導(dǎo)率的方向性的差異以及距加熱體的遠(yuǎn)近等，都會影響加熱的均勻度。

所以，要獲得較均勻的烘烤溫度，采用烘烤爐將真空容器整個罩住，比采用纏繞加熱絲的方法好，特別是大質(zhì)量的金屬法蘭，難以靠熱傳導(dǎo)同步加熱，只有靠熱輻射緩慢升溫，而輻射熱是加熱體溫度4次方函數(shù)關(guān)系，所以盡量采用較高的加熱溫度和充分長的加熱時間是十分必要的。

盡管如此，要達(dá)到系統(tǒng)均勻升溫，對大型超高真空系統(tǒng)的厚法蘭還應(yīng)當(dāng)采用輔助加熱片進(jìn)行加熱，輔助加熱片的功率可根據(jù)材料的熱容量進(jìn)行計算，要獲得**效果，應(yīng)通過實驗確定。

超高真空系統(tǒng)大小及內(nèi)部結(jié)構(gòu)千差萬別，很難用統(tǒng)一的烘烤程序滿足各種不同用戶的要求。用戶**進(jìn)行超高真空系統(tǒng)運轉(zhuǎn)調(diào)試時，應(yīng)專門對系統(tǒng)的烘烤程序進(jìn)行實驗，包括不同的烘烤溫度、烘烤時間、升溫速率、降溫速率、各部分溫度以及各階段的真空度等參數(shù)，制定合理的烘烤工藝參數(shù)。這里需要指出的是系統(tǒng)加熱烘烤期間，應(yīng)控制升溫速率避免容器內(nèi)壓力過高，以至于超過真空泵**工作壓力，破壞泵的正常抽氣功能。

超高真空系統(tǒng)的密封材料是影響烘烤參數(shù)的重要因素，必須引起特別注意，金屬密封出氣速率低，可允許較高的烘烤溫度，但不同熱膨脹系數(shù)的差異在冷卻到室溫時，可能造成冷漏，對于一次性使用的密封圈，每次暴露大氣需重新進(jìn)行更換，可重復(fù)使用的金屬密封，由于刀口錯位或密封壓力不當(dāng)也容易引起漏氣。橡膠密封墊圈更換方便，但出氣率速大，不允許高溫烘烤，即使采用氟橡膠，仍需維持膠圈在合理的溫度范圍進(jìn)行烘烤。

為了用橡膠密封圈獲得10-6Pa或更低的壓力，需采用密封材料暴露在真空部位面積小并焊有水冷管和氟利昂制冷管的氟橡膠密封超高真空法蘭，或采用帶有氟利昂制冷管和雙道氟橡膠密封圈的超高真空法蘭，結(jié)束烘烤等到法蘭冷卻到室溫后通氟利昂制冷，使法蘭溫度降低到-20~-30℃，同時對雙道密封圈中間抽真空，可降低密封圈的漏氣及放氣速率。

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