真空計(jì)算公式是真空領(lǐng)域中非常重要的工具，通過這些公式，我們可以方便地進(jìn)行真空度的測(cè)量、真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和優(yōu)化等。

1、玻義爾定律

體積V，壓強(qiáng)P，P?V＝常數(shù)（一定質(zhì)量的氣體，當(dāng)溫度不變時(shí)，氣體的壓強(qiáng)與氣體的體積成反比。

即P1/P2＝V2/V1）

2、蓋?呂薩克定律

當(dāng)壓強(qiáng)P不變時(shí)，一定質(zhì)量的氣體，其體積V與溫度T成正比：（V1/V2＝T1/T2＝常數(shù)）

當(dāng)壓強(qiáng)不變時(shí)，一定質(zhì)量的氣體，溫度每升高(或P降低)1℃，則它的體積比原來增加(或縮小)1/273。

3、查理定律

當(dāng)氣體的體積V保持不變，一定質(zhì)量的氣體，壓強(qiáng)P與其他溫度T成正比，即：P1/P2＝T1/T2

在一定的體積下，一定質(zhì)量的氣體，溫度每升高(或降低)1℃，它的壓強(qiáng)比原來增加(或減少)1/273。

4、平均自由程：

λ＝(5×10-3)/P (cm)

5、抽速：

S＝dv/dt (升/秒)或 S＝Q/P

Q＝流量(托?升/秒) P＝壓強(qiáng)(托)V＝體積(升) t＝時(shí)間(秒)

6、通導(dǎo)：

C＝Q/(P2-P1) (升/秒)

7、真空抽氣時(shí)間：

對(duì)于從大氣壓到1托抽氣時(shí)間計(jì)算式： t＝8V/S (經(jīng)驗(yàn)公式)

（V為體積，S為抽氣速率，通常t在5~10分鐘內(nèi)選擇。）

8、維持泵選擇：

S維＝S前/10

9、擴(kuò)散泵抽速估算：

S＝3D2 (D＝直徑cm）

10、羅茨泵的前級(jí)抽速：

S＝(0.1~0.2)S羅 (l/s)

11、漏率：

Q漏＝V(P2-P1)/(t2-t1)

Q漏－系統(tǒng)漏率(mmHg?l/s) V－系統(tǒng)容積(l)

P1－真空泵停止時(shí)系統(tǒng)中壓強(qiáng)(mmHg)

P2－真空室經(jīng)過時(shí)間t后達(dá)到的壓強(qiáng)(mmHg)

t－壓強(qiáng)從P1升到P2經(jīng)過的時(shí)間(s)

12、粗抽泵的抽速選擇：

S＝Q1/P預(yù) (l/s)

S=2.3V?lg(Pa/P預(yù))/t

S－機(jī)械泵有效抽速 Q1－真空系統(tǒng)漏氣率(托?升/秒)

P預(yù)－需要達(dá)到的預(yù)真空度(托) V－真空系統(tǒng)容積(升)

t－達(dá)到P預(yù)時(shí)所需要的時(shí)間 Pa－大氣壓值(托）

13、前級(jí)泵抽速選擇：

排氣口壓力低于一個(gè)大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，

它們工作時(shí)需要前級(jí)泵來維持其前級(jí)壓力低于臨界值，選用的前級(jí)泵必須能將主泵的

最大氣體量排走，根據(jù)管路中，各截面流量恒等的原則有：

PnSg≥PgS