應(yīng)用介紹：應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、軍事、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位，主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識(shí)別）、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干，電工產(chǎn)品、材料、零備等的高溫潔凈和無(wú)氧環(huán)境中干燥和老化試驗(yàn)。

主要特點(diǎn)：箱體選用全陶瓷纖維保溫，具有升溫快、節(jié)能等特點(diǎn)，優(yōu)良的送風(fēng)、排風(fēng)系統(tǒng)，確保爐箱溫度均勻，吸風(fēng)口玻纖過(guò)濾器，確保潔凈度的要求。

一、技術(shù)指標(biāo)與基本配置：

????1.1使用溫度：RT～400℃，極限溫度：450℃；

????1.2爐膛腔數(shù):2個(gè),上下布置；

????1.3爐膛材料：SUS304鏡面不銹鋼；加熱元件：不銹鋼加熱器；熱偶：

????1.4空爐升溫時(shí)間：1.5h；

????1.5空爐降溫時(shí)間：375℃--80℃；降溫時(shí)間1.5-3.5小時(shí) (采用水冷及風(fēng)冷)；

? ? 1.6.溫度和氧含量記錄:進(jìn)口無(wú)紙記錄儀或有紙記錄儀；

??二、氧含量（配氧分析儀）：

???????2.1高溫狀態(tài)氧含量：≤ 10ppm +氣源氧含量;保存

??????????低溫狀態(tài)氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量

???????2.2控溫穩(wěn)定度：±1℃；

溫度均勻度：±10℃（400℃平臺(tái)）；

三、事件輸出:

3.1配置PLC,可實(shí)現(xiàn)多事件輸出控制氣氛、水等開關(guān)和報(bào)警；

? ? ? ? 3.2控制：上下爐腔可單獨(dú)控溫、通氣、報(bào)警保護(hù)；

? ? ? ? 3.3控溫儀表：進(jìn)口溫控儀；

? ? ? ? 3.4控溫點(diǎn)數(shù)：2點(diǎn)；

? ? ? ? 3.5超溫報(bào)警點(diǎn)數(shù)：2點(diǎn)；檢測(cè)點(diǎn)數(shù)：2點(diǎn)；

? ? ? ? 3.6報(bào)警保護(hù)：超溫、斷偶等聲光報(bào)警保護(hù)；超溫保護(hù)：獨(dú)立感溫式超溫保護(hù)器；

電機(jī)保護(hù)：電機(jī)過(guò)電流、水冷保護(hù)；

四、工藝線標(biāo)準(zhǔn)

4.1、在常溫下以3-5℃/min升溫速率升溫40分鐘到200℃

4.2、200℃狀態(tài)下恒溫45分鐘

4.3、再40min升到375℃

4.4、375℃恒溫1H

4.5、結(jié)尾以每分鐘3-5℃的降溫速率，79min左右從375℃降到75℃

*技術(shù)細(xì)節(jié)變動(dòng)之處，恕不另行通知，具體設(shè)備參數(shù)以咨詢結(jié)果為準(zhǔn)。