近日,我司一批全自動雙管立式爐順利交付客戶,此設(shè)備為真萍科技獨立研發(fā)與制作,并獲得國家專利。
立式爐是通過微電腦控制爐管內(nèi)溫度,并往內(nèi)充氮氣,使晶圓可以在高溫微量氧含量下的潔凈空間,對PI膠進行烘烤固化的設(shè)備。產(chǎn)品用途范圍廣泛,適用于集成電路圓片膠, BPO膠/PI膠/BCB膠固化,IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別;集成電路圓片快速退火等。其產(chǎn)品特點為:
1.一體式人機操作系統(tǒng),連續(xù)式自動化生產(chǎn),工作效率高,節(jié)約人工成本、電能及工藝時間。
2.FEC加熱,升溫迅速且均勻度好。
3.優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì),表面經(jīng)物理及化學(xué)拋光處理,確保潔凈度。
4.自帶自清潔功能——高溫清潔。
控制系統(tǒng):人機界面采用觸摸屏方式,核心控制器采用嵌入式控制器,超溫保護為獨立檢測器件,具有氧含量檢測功能,運動控制為伺服/步進控制單元,傳輸為專業(yè)晶元傳輸機器人,軟件具有溫度控制,氣氛控制,工藝編輯,數(shù)據(jù)記錄,圖表顯示等功能。
未來,真萍將繼續(xù)強化技術(shù)引領(lǐng),以專業(yè)優(yōu)勢,為行業(yè)顧客提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品解決方案和服務(wù)。
真萍科技作為專業(yè)的設(shè)備制造廠商,可根據(jù)客戶需求定制您需要的滿意產(chǎn)品,有需求的客戶詳情請咨詢400-608-2908或搜索真萍科技了解更多信息。