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合肥真萍電子科技有限公司 

安徽旭騰微電子設(shè)備有限公司

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高溫無氧烤箱/防氧化固化爐/高溫無氧固化爐/高溫厭氧固化爐

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應(yīng)用介紹:
廣泛應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MEMS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產(chǎn)品、材料、零備等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。
產(chǎn)品詳情

技術(shù)指標與基本配置:

使用溫度

RT+30~400℃,最高溫度:450℃;

爐膛腔數(shù)

1或2個,上下布置;

爐膛材料

SUS316鏡面不銹鋼;

加熱元件

不銹鋼加熱器;

空爐升溫時間

1.5h;

空爐降溫時間

375℃--80℃;降溫時間1.5-3.5小時      

降溫模式

采用水冷及風(fēng)冷;

控溫穩(wěn)定度

±1℃;

溫度均勻度

±2%℃(400℃平臺)。

主要特點

箱體選用全陶瓷纖維保溫,具有升溫快、節(jié)能等特點,獨特的送風(fēng)、排風(fēng)系統(tǒng),確保爐箱溫度均勻,吸風(fēng)口加玻纖過濾器,確保潔凈度的要求。

氧含量

(配氧分析儀)

高溫狀態(tài)氧含量:≤ 50ppm +氣源氧含量;

低溫狀態(tài)氧含量:≤100ppm +氣源氧含量。


工藝線標準: 

在常溫下以3-5℃/min升溫速率升溫40分鐘到200℃→200℃狀態(tài)下恒溫45分鐘→再40min升到375℃→375℃恒溫1H→最后以每分鐘3-5℃的降溫速率,79min左右從375℃降到75℃。


可接受定制或多腔體

產(chǎn)品型號:

型號

MOLWY-120

MOLWY-288

MOLWY-512

內(nèi)尺寸(mm

W450*H650*D450

W600*H800*D600

W800*H800*D800

層板數(shù)

二層


高溫無氧烤箱/防氧化固化爐/高溫無氧固化爐/高溫厭氧固化爐高溫無氧烤箱/防氧化固化爐/高溫無氧固化爐/高溫厭氧固化爐高溫無氧烤箱/防氧化固化爐/高溫無氧固化爐/高溫厭氧固化爐
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廣泛應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MEMS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產(chǎn)品、材料、零備等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。
產(chǎn)品詳情

技術(shù)指標與基本配置:

使用溫度

RT+30~400℃,最高溫度:450℃;

爐膛腔數(shù)

1或2個,上下布置;

爐膛材料

SUS316鏡面不銹鋼;

加熱元件

不銹鋼加熱器;

空爐升溫時間

1.5h;

空爐降溫時間

375℃--80℃;降溫時間1.5-3.5小時      

降溫模式

采用水冷及風(fēng)冷;

控溫穩(wěn)定度

±1℃;

溫度均勻度

±2%℃(400℃平臺)。

主要特點

箱體選用全陶瓷纖維保溫,具有升溫快、節(jié)能等特點,獨特的送風(fēng)、排風(fēng)系統(tǒng),確保爐箱溫度均勻,吸風(fēng)口加玻纖過濾器,確保潔凈度的要求。

氧含量

(配氧分析儀)

高溫狀態(tài)氧含量:≤ 50ppm +氣源氧含量;

低溫狀態(tài)氧含量:≤100ppm +氣源氧含量。


工藝線標準: 

在常溫下以3-5℃/min升溫速率升溫40分鐘到200℃→200℃狀態(tài)下恒溫45分鐘→再40min升到375℃→375℃恒溫1H→最后以每分鐘3-5℃的降溫速率,79min左右從375℃降到75℃。


可接受定制或多腔體

產(chǎn)品型號:

型號

MOLWY-120

MOLWY-288

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內(nèi)尺寸(mm

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W600*H800*D600

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