1

EFEM

Load port

2個,8/12寸兼容，配置見附件

2

Robot

1個，3DOF,多關(guān)節(jié)臂式

3

Fork

1個，8/12寸兼容，VACUUM, AL2O3,ESD

4

EFU

效率H14,風(fēng)速可調(diào)，帶通信功能

5

離子風(fēng)棒

2個，信號反饋

6

燈

1個，黃光

7

Camera

2個，取放片各一個

8

Interlock

2個安全門鎖

9

Tower

4色

10

工控機+鼠標(biāo)鍵盤顯示器+UPS電源

1套

11

設(shè)計：

1、wafer傳輸空間的下底部通風(fēng)孔大小可調(diào)，兩側(cè)維修門有密封圈； 

2、預(yù)留Aigner/BUFFER安裝位置；   

3、門與主框架之間使用導(dǎo)線連接，接地釋放靜電；

4、地腳選用全金屬材質(zhì)型；