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上海檢測(cè)儀有限公司
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合肥真萍電子科技有限公司 

安徽旭騰微電子設(shè)備有限公司

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400-608-2908

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全自動(dòng)甲酸回流焊

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產(chǎn)品特點(diǎn):
1、適用于先進(jìn)封裝領(lǐng)域200/300mm wafer Reflow工藝;
2、能有效減少各凸點(diǎn)的高度差,降低焊接凸點(diǎn)表面的粗糙度;
3、有效去除焊料中自帶的氧化物;
4、控溫精度高,設(shè)備自動(dòng)化程度高
產(chǎn)品詳情

NO

Item

Specification

Remarks

1

wafer size

200mm/300mm

adaptor/insert

2

Max number of load port

2


3

number of  process chamber

6

LORDLOCK,S1-S4,cooling

4

Process temperature

50-400℃

165℃300℃,235℃,195℃±20℃

5

Temperature Accuracy

±1%


6

N2 Load Lock(O2 Concentration)

Install

 15ppm@30min

7

cooling

20±5℃

P.C.W

8

Aigner/BUFFER

200mm/300mm

Optional

9

WPH

60PCS/H


10

All equipment

1725 x 2405 x 2200 (W x D x H mm)

WxDxH

11

EFEM

1725 x 855 x 2200 (W x D x H mm)

WxDxH

12

PM

1725 x 1550 x 2200 (W x D x H mm)

WxDxH


全自動(dòng)甲酸回流焊全自動(dòng)甲酸回流焊
全自動(dòng)甲酸回流焊
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產(chǎn)品特點(diǎn):
1、適用于先進(jìn)封裝領(lǐng)域200/300mm wafer Reflow工藝;
2、能有效減少各凸點(diǎn)的高度差,降低焊接凸點(diǎn)表面的粗糙度;
3、有效去除焊料中自帶的氧化物;
4、控溫精度高,設(shè)備自動(dòng)化程度高
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NO

Item

Specification

Remarks

1

wafer size

200mm/300mm

adaptor/insert

2

Max number of load port

2


3

number of  process chamber

6

LORDLOCKS1-S4,cooling

4

Process temperature

50-400℃

165℃,300℃235℃,195℃±20℃

5

Temperature Accuracy

±1%


6

N2 Load Lock(O2 Concentration)

Install

 15ppm@30min

7

cooling

20±5℃

P.C.W

8

Aigner/BUFFER

200mm/300mm

Optional

9

WPH

60PCS/H


10

All equipment

1725 x 2405 x 2200 (W x D x H mm)

WxDxH

11

EFEM

1725 x 855 x 2200 (W x D x H mm)

WxDxH

12

PM

1725 x 1550 x 2200 (W x D x H mm)

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