產(chǎn)品規(guī)格

8寸/12寸

存放數(shù)量

25

加熱器

加熱管（熱風(fēng)循環(huán)）

上料口

4個

機械手

1個

溫度范圍

長期使用溫度:180℃，最高溫度：200℃

升溫速率

≥5℃/min

降溫速率

≥2℃/min 水冷

加熱功率

18kW(單爐)

加熱溫區(qū)

2個

爐溫均勻性

≤±3℃ (空載測

控溫?zé)崤?/span>

K分度

試, 當(dāng)壓力為5kg/cm2，溫度設(shè)置在120~175℃之間時)

溫度控制方式

SSR

程序控制

P.I.D控制

爐腔材料

不銹鋼SUS304

保溫材料

陶瓷纖維

氣氛控制

多路流量計調(diào)節(jié)進氣

氣氛

N2/CDA

壓力范圍

0 ~ 8 kg/cm2

排氣系統(tǒng)

在頂部設(shè)置排氣煙囪，用于廢氣排放,回收