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1.一體式人機操作系統(tǒng)，連續(xù)式自動化生產，工作效率高，節(jié)約人工成本、電能及工藝時間；
2.FEC加熱，升溫迅速且均勻度好；
3.優(yōu)質不銹鋼材質，表面經物理及化學拋光處理，確保潔凈度；
技術參數：
型號 | TAST2075D112-N | TAST3075D112-N | |||||
處理產品 | 6/8/12inch 晶圓 | 處理量 | 100PCS/管 | ||||
加熱器 | 圓形FEC加熱板 | ||||||
上料口 | 2個 | 機械手 | 1 | ||||
溫度范圍 | 長期使用溫度: 1050℃，最高溫度：1200℃ | ||||||
升溫速率 | ＜10℃/min | 降溫速率 | ＜5℃/min | ||||
爐溫均勻性 | ±℃（1050℃恒溫） | 加熱溫區(qū) | 3個 | ||||
溫度控制方式 | SSR | 程序控制 | P.I.D控制 | ||||
爐膛材料 | 石英 | 保溫材料 | 陶瓷纖維 | ||||
氣氛控制 | 多路流量計調節(jié)進氣，流量計量程：0-150L/min | 氣氛 | N2 | ||||
排氣系統(tǒng) | 在頂部設置排氣煙囪，用于廢氣排放,回收 | ||||||
產品特點：
1.一體式人機操作系統(tǒng)，連續(xù)式自動化生產，工作效率高，節(jié)約人工成本、電能及工藝時間；
2.FEC加熱，升溫迅速且均勻度好；
3.優(yōu)質不銹鋼材質，表面經物理及化學拋光處理，確保潔凈度；
技術參數：
型號 | TAST2075D112-N | TAST3075D112-N | |||||
處理產品 | 6/8/12inch 晶圓 | 處理量 | 100PCS/管 | ||||
加熱器 | 圓形FEC加熱板 | ||||||
上料口 | 2個 | 機械手 | 1 | ||||
溫度范圍 | 長期使用溫度: 1050℃，最高溫度：1200℃ | ||||||
升溫速率 | ＜10℃/min | 降溫速率 | ＜5℃/min | ||||
爐溫均勻性 | ±℃（1050℃恒溫） | 加熱溫區(qū) | 3個 | ||||
溫度控制方式 | SSR | 程序控制 | P.I.D控制 | ||||
爐膛材料 | 石英 | 保溫材料 | 陶瓷纖維 | ||||
氣氛控制 | 多路流量計調節(jié)進氣，流量計量程：0-150L/min | 氣氛 | N2 | ||||
排氣系統(tǒng) | 在頂部設置排氣煙囪，用于廢氣排放,回收 | ||||||
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