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擴(kuò)散/氧化爐是半導(dǎo)體生產(chǎn)重要工藝，擴(kuò)散是在高溫條件下，利用熱擴(kuò)散原理將雜質(zhì)元素按要求的深度摻入硅襯底中，
使其具有特定的濃度分布，達(dá)到改變材料的電學(xué)特性，形成半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)的目的?？捎糜谥谱鱌N結(jié)或構(gòu)成集成電路中的
電阻、電容、二極管和晶體管等器件。氧化是將硅片放置于氧氣或水蒸氣的氛圍中進(jìn)行高溫?zé)崽幚?，在硅片表面形成氧化?/span>
的過程，可作為離子注入的阻擋層及注入穿透層、表面鈍化、器件結(jié)構(gòu)的介質(zhì)層等。
設(shè)備 特點(diǎn) | 可滿足閉管干氧氧化、濕氧氧化、氫氧合成氧化工藝 |
采用高可靠性工控機(jī)+PLC模式，對(duì)爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閥門進(jìn)行全自動(dòng)控制,實(shí)現(xiàn)全部工藝過程自動(dòng)化； | |
具有友好的人機(jī)界面，用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù)，并可隨時(shí)顯示各種工藝狀態(tài)； | |
具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇； | |
具有強(qiáng)大的軟件功能，配有故障自診斷軟件，可大大節(jié)省維修時(shí)間； | |
恒溫區(qū)自動(dòng)調(diào)整，串級(jí)控制，可準(zhǔn)確控制反應(yīng)管的實(shí)際工藝溫度； | |
具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報(bào)警和保護(hù)功能； | |
可根據(jù)用戶要求定制產(chǎn)品。 |
產(chǎn)品功能：
擴(kuò)散/氧化爐是半導(dǎo)體生產(chǎn)重要工藝，擴(kuò)散是在高溫條件下，利用熱擴(kuò)散原理將雜質(zhì)元素按要求的深度摻入硅襯底中，
使其具有特定的濃度分布，達(dá)到改變材料的電學(xué)特性，形成半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)的目的?？捎糜谥谱鱌N結(jié)或構(gòu)成集成電路中的
電阻、電容、二極管和晶體管等器件。氧化是將硅片放置于氧氣或水蒸氣的氛圍中進(jìn)行高溫?zé)崽幚恚诠杵砻嫘纬裳趸?/span>
的過程，可作為離子注入的阻擋層及注入穿透層、表面鈍化、器件結(jié)構(gòu)的介質(zhì)層等。
設(shè)備 特點(diǎn) | 可滿足閉管干氧氧化、濕氧氧化、氫氧合成氧化工藝 |
采用高可靠性工控機(jī)+PLC模式，對(duì)爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閥門進(jìn)行全自動(dòng)控制,實(shí)現(xiàn)全部工藝過程自動(dòng)化； | |
具有友好的人機(jī)界面，用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù)，并可隨時(shí)顯示各種工藝狀態(tài)； | |
具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇； | |
具有強(qiáng)大的軟件功能，配有故障自診斷軟件，可大大節(jié)省維修時(shí)間； | |
恒溫區(qū)自動(dòng)調(diào)整，串級(jí)控制，可準(zhǔn)確控制反應(yīng)管的實(shí)際工藝溫度； | |
具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報(bào)警和保護(hù)功能； | |
可根據(jù)用戶要求定制產(chǎn)品。 |
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